После химико-механической полировки (ХМП) на поверхности пластин остаются неорганические, органические и химические остатки, которые могут привести к дефектам, если их не удалить. Щеточные валики из ПВА обеспечивают мягкую очистку без царапин, сохраняя свою гибкую структуру даже после впитывания жидкостей. Щетка подает чистящие химикаты и деионизированную воду на поверхность пластин, прокатываясь и скребя, чтобы добиться эффективной, непрерывной очистки и сушки.

Характеристики

• Технология воздушного вспенивания: Без остатков крахмала.

• Лучшие в отрасли возможности обнаружения: Обнаруживает минимальное количество металлических и жидких частиц.

• Энергоэффективность: Сокращает потребление воды в CMP на 10% и снижает потребление энергии при очистке сточных вод.

• Повышенная эффективность использования: Значительно сокращает время предварительной очистки и сводит к минимуму использование фиктивных пластин.

• Цельная конструкция: Формованная пена ПВА, интегрированная с сердечником, снижает риск деформации.

• Отличная способность пропускать жидкость и самоочищаться: взаимосвязанная структура пор 100% обеспечивает превосходную очищающую способность.

• Настраиваемый: Регулируемый поток воды для оптимальной очистки.