Após o polimento químico-mecânico (CMP), permanecem resíduos inorgânicos, orgânicos e químicos na superfície da bolacha, que podem causar defeitos se não forem removidos. Os rolos de escova PVA fornecem uma solução de limpeza suave e sem riscos, mantendo a sua estrutura flexível mesmo depois de absorverem líquidos. A escova fornece produtos químicos de limpeza e água desionizada à superfície da bolacha, rolando e esfregando para obter uma limpeza e secagem eficazes e contínuas.

Caraterísticas

• Tecnologia de espumação de ar: Sem resíduos de amido.

• Capacidades de deteção líderes na indústria: Pode detetar partículas mínimas de metais e líquidos.

• Eficiência energética: Reduz o consumo de água da CMP em 10% e diminui o consumo de energia no tratamento de águas residuais.

• Utilização melhorada: Reduz significativamente o tempo de entrada na pré-limpeza e minimiza a utilização de bolachas fictícias.

• Desenho de uma só peça: A espuma PVA moldada integrada no núcleo reduz o risco de distorção.

• Excelente transmissibilidade de líquidos e capacidade de auto-limpeza: estrutura de poros interligados 100% para um desempenho de limpeza superior.

• Personalizável: Fluxo de água ajustável para uma limpeza optimizada.