ケミカル・メカニカル・ポリッシュ（CMP）後、ウェーハ表面には無機物、有機物、化学物質の残留物が残り、除去しなければ欠陥の原因となります。PVAブラシローラーは、液体を吸収しても柔軟な構造を維持しながら、穏やかで傷のない洗浄液を提供します。このブラシは、洗浄剤と脱イオン水をウェーハ表面に供給し、ローリングとスクラビングを行うことで、効果的かつ連続的な洗浄と乾燥を実現します。

特徴

• 空気発泡技術：澱粉が残らない。

• 業界をリードする検出能力：最小限の金属や液体の粒子を検出可能。

• エネルギー効率が高い：CMPの水使用量を10%削減し、廃水処理のエネルギー消費量を削減。

• 稼働率の向上：洗浄前のブレークイン時間を大幅に短縮し、ダミーウェーハの使用を最小限に抑えます。

• ワンピース・デザイン：コアと一体成型されたPVAフォームが歪みのリスクを軽減。

• 優れた液透過性とセルフクリーニング能力：100%の連通孔構造により、優れたクリーニング性能を実現。

• カスタマイズ可能：洗浄に最適な水流に調節可能。