بعد التلميع الكيميائي الميكانيكي الكيميائي (CMP)، تبقى البقايا غير العضوية والعضوية والكيميائية على سطح الرقاقة، والتي يمكن أن تسبب عيوبًا إذا لم تتم إزالتها. توفر بكرات فرشاة PVA محلول تنظيف لطيف وخالٍ من الخدوش مع الحفاظ على هيكلها المرن حتى بعد امتصاص السوائل. تقوم الفرشاة بتوصيل مواد التنظيف الكيميائية والماء منزوع الأيونات إلى سطح الرقاقة، حيث تقوم بالدحرجة والفرك لتحقيق تنظيف وتجفيف فعال ومستمر.

الميزات

• تقنية الرغوة الهوائية: لا توجد بقايا نشا.

• قدرات كشف رائدة في المجال: يمكن الكشف عن الحد الأدنى من الجسيمات المعدنية والسائلة.

• موفر للطاقة: يقلل من استخدام مياه CMP بمقدار 10% ويقلل من استهلاك الطاقة في معالجة مياه الصرف الصحي.

• استخدام محسّن: يقلل بشكل كبير من وقت الاستراحة قبل التنظيف ويقلل من استخدام الرقاقة الوهمية.

• تصميم من قطعة واحدة: رغوة PVA المقولبة المدمجة مع القلب تقلل من خطر التشويه.

• قابلية ممتازة لنفاذ السوائل وقدرة ممتازة على التنظيف الذاتي: بنية مسام مترابطة 100% لأداء تنظيف فائق.

• قابل للتخصيص: تدفق مياه قابل للتعديل لتحسين التنظيف.